JCM-6000Plus 主要技术规格

(1)信号

・高真空模式下可以获取二次电子像、背散射电子像。

・低真空模式下可以获取背散射电子像。

(2)倍率

・×10 以下～×60,000 以上。

・×23 以下～×141,000 以上（显示器倍率）

(3)加速电压

・在5kV、10kV 和15kV 三档以外的范围也可以设定。

(4)灯丝

・钨灯丝

・一触式灯丝交换方式，不需清洁。

(5)聚光镜

・两级电磁变焦式。

・±70μm 以上。

(7)样品台

・全对中型

样品移动范围

・X：35mm 以上，Y：35mm 以上、倾斜＋45°～－15°以上、旋转360°。

・最大样品尺寸 70mmφ 以上、高度50mm 以上。

(8)自动功能

具有以下自动功能：

・全自动

・自动聚焦

・自动衬度/亮度

・自动消象散

・电子枪自动合轴

(9)操作系统

・利用Windows 7 操作系统的PC 进行控制。

・23 寸宽屏触控显示器，使用触控屏和鼠标都可以操作。

・能将SEM 图像录制成视频。